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2XZ直联旋片式真空泵
型号
2XZ-0.5
2XZ-1
2XZ-2
2XZ-4
抽气速率(L/S)
0.5
1
2
4
极限真空（Torr）
气锁关
<6×10
-2
（<5×10
-2
）
气锁开
<6(<5×10
-2
)
<1.3(<1×10
-2
)
转速(r/min)
1400
电动机功率(kW)
0.18
0.25
0.37
0.55
进气口直径(mm)
ø15
ø15
ø25
ø25
泵油温升(
℃)
≯40
≯40
≯40
≯40
用油量(litre)
0.65
0.55
0.48
0.80
外形尺寸(mm)
445×130×254
445×130×254
488×145×280
528×145×280
重量kg(三相电动机时）
13.5
15
20
23
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