|
|
 |
 |
JCJ-D1200系列磁控溅射卷绕镀膜机 |
|
 |
 |
 |
|
型号
|
JCJ-D1200
|
JCJ-D1200C
|
|
ZZ1688-56PI mm
|
1915X1200X1880
|
2020X1600X2400
|
|
卷
膜
条
件
|
基体材料
|
PEI或其它透明塑料膜，12-100um
|
|
最大宽幅 mm
|
1200
|
|
最大卷径 mm
|
φ400
|
|
卷芯内径 mm
|
φ75
|
|
卷绕速度 m/min
|
1-10
|
|
主辊温度 ℃
|
-15~+25
|
|
卷绕张力 N
|
25-250
|
|
真
空
条
件
|
极限压力 Pa
(清洁空容器)
|
10-4
|
|
恢复真空时间 Min
(清洁空容器)
|
105Pa-7X10-3Pa<20
|
|
溅
射
条
件
|
阴极形式
|
平面磁控溅射阴极
|
|
阴极数量 个
|
5
|
7
|
|
阴极电源 套
|
直流电源2
脉冲直流电源3
|
脉冲直流电源3
中频电源2
|
|
镀
膜
条
件
|
膜层厚度 Nm
|
金属层8-15
介子层20-50
|
|
膜厚均匀性
|
±5%
|
|
膜层方阻 Ω/□
|
5-500
|
|
透过率%
|
20-80（根据产品要求控制）
|
|
红外反射率%
|
35-90（根据产品要求控制）
|
|
 |
适用于在塑料簿膜基材上溅射太阳控制膜、低辐射膜、ITO透明导电膜等。
镀膜宽幅：1200mm。
平面磁控溅射阴极5~7个。
进口美国阴极电源。
镀膜辊加有低温回暖装置。
真空系统PLC自动控制。
卷绕系统张力自动控制。
工作气体质量流量控制，质量流量计进口。
膜层实时监控。
上一页 回真空应用设备目录 |
|
