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镀膜材料
ZZJ-1600型旋转圆柱靶磁控溅射镀膜机
真空室尺寸 Φ1500×1750mm
极限真空 6.7×10-3Pa(空载）
工作真空 3×10-1Pa~8×10-1Pa
恢复真空时间 ≤6 min(从大气~6.0X10-2Pa 空载）
笼框个数及尺寸 6个，Φ430X1461
工件架转速 公转0~30rpm,自转0~180rpm
靶功率 45KVA
靶转数 0~15rpm
消耗功率 90KW
压缩空气 4~6X105Pa
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