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镀膜材料
CC型超高真空插板阀
适用范围 Pa
1X10-7~1.6X105
漏 率 Pa.L/S
DN≤200时为≤1.3X10-7
DN≥250时为≥6.7X10-7
烘烤温度 ℃
≤150(除传动装置外)
开阀时阀板两侧压力差 Pa
≤2.7X103
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